国内半导体设备进口创新高！中微公司进口受限零部件明年100%替代

自去年10月，美国限制先进半导体设备对华出口之后，另外两大半导体设备强国——日本和荷兰也相继出台了对先进半导体设备的出口管制规定。日本自7月23日开始实施限制措施，而荷兰的限制措施将于9月1日正式生效。这些限制意味着相关设备厂商的出口，需要向政府申请许可证，这也引起了中国的芯片制造商的普遍担忧。因此，可能会有一些芯片制造商希望在限制措施生效前采购更多的设备，以减少未来的不确定性所带来的冲击。

据中国海关总署数据，2022年我国光刻机进口总额39.63亿美元，其中从荷兰进口额为25.48亿美元，占比64.3%。2023年1-7月份，从荷兰进口的光刻机金额为25.86亿美元，同比增长64.8%，7月份进口额为6.26亿美元，同比增长近8倍，不过环比下降了28.4%。

熟悉荷兰半导体设备采购的业内人士表示，由于全球最大的光刻机制造商ASML向中国客户交付了更多光刻机，今年6月和7月，中国对荷兰芯片制造设备的进口量相比5月翻了一番。

虽然目前尚不清楚中国进口半导体设备的增加在多大程度上与将受到限制有关，但这些半导体设备进口的增长表明，中国扩大芯片制造规模的努力并未因为外部的阻挠而放缓。

ASML公布的财报也显示，今年二季度，来自中国大陆的销售收入占比为24%，相比一季度的8%，大幅增加了16个百分点，增长了200%。在所有销售的设备当中，ArFi设备（浸没式DUV设备）销量相比一季度大涨了56%，增长了14台至39台。

对于二季度DUV设备销量的大幅增加，ASML首席执行官彼得·温宁克（Peter Wennink）解释称，“在DUV上，需求仍然高于我们的生产能力。虽然我们已经看到了行业中不同细分市场的需求出现了一些挤出。然而，我们的中国客户在过去两年中的需求满足率远远低于50%。所以，我们的中国客户说：我们很乐意接受别人不想要的机器。因为他们的工厂已经准备好了。因此，当有可用的设备时，他们会拿走这些设备。所以，总的来说，我们的DUV业务看起来仍然相当强劲。”

除了荷兰外，中国从日本进口的设备也有所增加。2020年美国开始收紧对半导体设备的出口管制后，一些中国公司开始从日本公司购买蚀刻设备和晶圆涂布机。

中国从包括新加坡和中国台湾在内的其他地区购买的半导体设备，也为这个创纪录的进口额做出了贡献。资料显示，应用材料公司有在新加坡生产半导体制造设备。

根据中国海关的数据，中国 4 月份从新加坡进口了价值约 4.07 亿美元的半导体制造设备。这是自 2022 年 8 月以来的最高金额，较 3 月份增长 9.6%。

专家表示，尽管出口管制收紧带来了挑战，但中国对半导体设备进口额的大幅增长，显示中国正在继续扩大成熟制程的生产。

市场研究机构Counterpoint的数据显示，今年第二季度，前五大半导体设备制造商对中国的出货量增长了30%。

Counterpoint高级研究分析师Ashwath Rao表示：“中国制造商对于成熟制程的投资有助于确保当地供应，同时也可以缓冲地缘政治的不确定性。”电动汽车、绿色能源转型和工业应用的大多数芯片，只需要成熟制程设备进行制造。

值得一提的是，中国本土的半导体设备厂商也在奋力发展，并有望帮助国内半导体制造商实现对于部分进口受限设备的替代。同时这些国产半导体设备制造商也在推动对于自身所需的进口受限零部件的国产替代。

8月25日，国产半导体设备大厂中微公司董事长尹志尧在与分析师举行的电话会议上就公开表示，自去年10月以来，国内客户加速采用中微的蚀刻设备。在全球及国内半导体设备投资整体下滑的趋势（上半年中国大陆半导体设备市场同比萎缩33%）之下，中微公司今年上半年的销售额逆势增长了28.13%。

据尹志尧透露，中微在中国电容耦合等离子体（CCP）刻蚀设备市场的市场份额预计将从去年10月的24%增至60%。在电感耦合等离子体（ICP）工具市场，在曾经占据主导地位的美国泛林半导体（Lam Research）的份额大幅下降后，其份额可能会从几乎为零上升到75%。业绩报告显示，上半年CCP和ICP两种主要刻蚀设备合计收入约占该公司总收入的68%。

尹志尧表示，随着中国深化半导体自给自足，将半导体制造设备和关键零部件纳入其中。预计到今年年底，中微公司80%的限制进口零部件可以在国内进行替代，随后将在明年下半年实现100%的替代。“我们有详细的关键零部件国产化路线图。”尹志尧说道：“设备使用国产零部件可以进一步打开中微公司的中国市场。”

编辑：芯智讯-浪客剑

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